“芯”材料 新突破 | 新一代半導體碳化硅上游核心材料與工藝產業(yè)化項目落戶金陽智中心
發(fā)布時間:
2024-09-11
9月10日,金陽投資集團子公司匯遠實業(yè)與長沙貝和科技有限公司舉行簽約儀式,新一代半導體碳化硅上游核心材料與工藝產業(yè)化項目正式落戶金陽智中心!瀏陽經開區(qū)經濟合作局副局長李亮,金陽投資集團副總經理荊波,匯遠實業(yè)總經理姜思,貝和投資方代表熊強,貝和法定代表人舒宇彤出席簽約儀式。
近年來,受益于5G通信、人工智能、物聯網等新技術和新應用的快速迭代發(fā)展,全球碳化硅行業(yè)復合年均增長率超30%,國內半導體碳化硅產業(yè)鏈發(fā)展迅速。CMP拋光液(Chemical Mechanical Polishing,化學機械拋光工藝,簡稱CMP)是半導體制造過程中的核心工藝耗材,可以實現晶圓表面的平整化,提升晶圓質量和性能。CMP拋光液長期被國外壟斷,核心材料仍依賴進口。
貝和團隊深耕半導體領域研究近20年,為破解CMP材料“卡脖子”技術,團隊攻堅克難、自主創(chuàng)新,推出完整的CMP工藝解決方案,本項目核心產品為納米級拋光磨粒和電子級CMP拋光液,其中磨粒采用精準可控的高溫煅燒工藝、可控結晶工藝,粒徑可控,磨削能力強;拋光液采用砂磨解聚工藝和分級篩選技術,均一性與穩(wěn)定性良好。
項目已設立中試產線,完成產品驗證,可快速轉化落地。與Fujimi、Cabot等國際競品相比,貝和科技產品的顆粒尺寸、粒徑分布等參數接近,表面形貌、磨削效率相類似,且生產成本較低,完全可平替進口產品。預計項目達產后產值不低于1億元。
目前,國內拋光液行業(yè)發(fā)展迅速,復合年均增長率超15%,業(yè)內估算,2030年拋光液國內市場規(guī)??蛇_10億美元。談及未來,貝和團隊信心滿滿。
新一代半導體碳化硅上游核心材料與工藝產業(yè)化項目是產學研深度融合的成果,也是新質生產力的象征。作為金陽智中心的運營服務方,金陽投資集團、匯遠實業(yè)將全力做好企業(yè)服務和后勤保障,讓企業(yè)輕裝上陣、聚焦發(fā)展,助力更多的優(yōu)質產業(yè)項目在這里枝繁葉茂、開花結果!
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